元器件失效分析方法

元器件失效分析方法

器件一旦壞了，千萬(wàn)不要敬而遠(yuǎn)之，而應(yīng)該如獲至寶。

開(kāi)車(chē)的人都知道，哪里最能練出駕駛水平？高速公路不行，只有鬧市和不良路況才能提高水平。社會(huì)的發(fā)展就是一個(gè)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題解決問(wèn)題的過(guò)程，出現(xiàn)問(wèn)題不可怕，但頻繁出現(xiàn)同一類(lèi)問(wèn)題是非常可怕的。

失效分析基本概念

定義：對(duì)失效電子元器件進(jìn)行診斷過(guò)程。

1、進(jìn)行失效分析往往需要進(jìn)行電測(cè)量并采用先進(jìn)的物理、冶金及化學(xué)的分析手段。

2、失效分析的目的是確定失效模式和失效機(jī)理，提出糾正措施，防止這種失效模式和失效機(jī)理的重復(fù)出現(xiàn)。

3、失效模式是指觀(guān)察到的失效現(xiàn)象、失效形式，如開(kāi)路、短路、參數(shù)漂移、功能失效等。

4、失效機(jī)理是指失效的物理化學(xué)過(guò)程，如疲勞、腐蝕和過(guò)應(yīng)力等。

失效分析的一般程序

1、收集現(xiàn)場(chǎng)場(chǎng)數(shù)據(jù)

2、電測(cè)并確定失效模式

3、非破壞檢查

4、打開(kāi)封裝

5、鏡驗(yàn)

6、通電并進(jìn)行失效定位

7、對(duì)失效部位進(jìn)行物理、化學(xué)分析，確定失效機(jī)理。

8、綜合分析，確定失效原因，提出糾正措施。

1、收集現(xiàn)場(chǎng)數(shù)據(jù)：

應(yīng)力類(lèi)型	試驗(yàn)方法	可能出現(xiàn)的主要失效模式
電應(yīng)力	靜電、過(guò)電、噪聲	MOS器件的柵擊穿、雙極型器件的pn結(jié)擊穿、功率晶體管的二次擊穿、CMOS電路的閂鎖效應(yīng)
熱應(yīng)力	高溫儲(chǔ)存	金屬－半導(dǎo)體接觸的Al－Si互溶，歐姆接觸退化，pn結(jié)漏電、Au-Al鍵合失效
低溫應(yīng)力	低溫儲(chǔ)存	芯片斷裂
低溫電應(yīng)力	低溫工作	熱載流子注入
高低溫應(yīng)力	高低溫循環(huán)	芯片斷裂、芯片粘接失效
熱電應(yīng)力	高溫工作	金屬電遷移、歐姆接觸退化
機(jī)械應(yīng)力	振動(dòng)、沖擊、加速度	芯片斷裂、引線(xiàn)斷裂
輻射應(yīng)力	X射線(xiàn)輻射、中子輻射	電參數(shù)變化、軟錯(cuò)誤、CMOS電路的閂鎖效應(yīng)
氣候應(yīng)力	高濕、鹽霧	外引線(xiàn)腐蝕、金屬化腐蝕、電參數(shù)漂移

2、電測(cè)并確定失效模式

電測(cè)失效可分為連接性失效、電參數(shù)失效和功能失效。

連接性失效包括開(kāi)路、短路以及電阻值變化。這類(lèi)失效容易測(cè)試，現(xiàn)場(chǎng)失效多數(shù)由靜電放電（ESD）和過(guò)電應(yīng)力（EOS）引起。

電參數(shù)失效，需進(jìn)行較復(fù)雜的測(cè)量，主要表現(xiàn)形式有參數(shù)值超出規(guī)定范圍（超差）和參數(shù)不穩(wěn)定。

確認(rèn)功能失效，需對(duì)元器件輸入一個(gè)已知的激勵(lì)信號(hào)，測(cè)量輸出結(jié)果。如測(cè)得輸出狀態(tài)與預(yù)計(jì)狀態(tài)相同，則元器件功能正常，否則為失效,功能測(cè)試主要用于集成電路。

三種失效有一定的相關(guān)性,即一種失效可能引起其它種類(lèi)的失效。功能失效和電參數(shù)失效的根源時(shí)?？蓺w結(jié)于連接性失效。在缺乏復(fù)雜功能測(cè)試設(shè)備和測(cè)試程序的情況下，有可能用簡(jiǎn)單的連接性測(cè)試和參數(shù)測(cè)試方法進(jìn)行電測(cè)，結(jié)合物理失效分析技術(shù)的應(yīng)用仍然可獲得令人滿(mǎn)意的失效分析結(jié)果。

3、非破壞檢查

名稱(chēng)	應(yīng)用優(yōu)勢(shì)	主要原理
X射線(xiàn)透視技術(shù)	以低密度區(qū)為背景，觀(guān)察材料的高密度區(qū)的密度異常點(diǎn)	透視X光的被樣品局部吸收后成象的異常
反射式掃描聲學(xué)顯微術(shù)（C－SAM）	以高密度區(qū)為背景，觀(guān)察材料內(nèi)部空隙或低密度區(qū)	超聲波遇空隙受阻反射


4、打開(kāi)封裝

開(kāi)封方法有機(jī)械方法和化學(xué)方法兩種,按封裝材料來(lái)分類(lèi)，微電子器件的封裝種類(lèi)包括玻璃封裝(二極管)、金屬殼封裝、陶瓷封裝、塑料封裝等。?

機(jī)械開(kāi)封

?化學(xué)開(kāi)封

5、顯微形貌像技術(shù)

光學(xué)顯微鏡分析技術(shù)

掃描電子顯微鏡的二次電子像技術(shù)

電壓效應(yīng)的失效定位技術(shù)

6、半導(dǎo)體主要失效機(jī)理分析

電應(yīng)力（EOD）損傷

靜電放電（ESD）損傷

封裝失效

引線(xiàn)鍵合失效

芯片粘接不良

金屬半導(dǎo)體接觸退化

鈉離子沾污失效

氧化層針孔失效